能量色散X射線(xiàn)光譜儀的組成及測定原理

  能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀由X射線(xiàn)光管、樣品室、準直器、探測器及技術(shù)電路和計算機組成。也可以在樣品前加一單色器，用來(lái)降低背景，，以改善色散X射線(xiàn)熒光光譜儀的檢出限。

  它與波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀顯著(zhù)的區別是分光晶體，直接用能量探測器來(lái)分辨特征譜線(xiàn)，達到定性和定量分析的目的。

  當樣品中待測元素的特征射線(xiàn)進(jìn)入能量探測器時(shí)，除了會(huì )產(chǎn)生電子孔穴對外，其數量還會(huì )正比于入射光子的能量，經(jīng)過(guò)前置放大器，產(chǎn)生典雅脈沖。前方產(chǎn)生的信號幅度小，信噪比低，所以需要慢脈沖成型放大器將其放大，并采用濾波器壓制極低和*的高頻信號，改善信噪比，提高分辨率。

  在能量探測過(guò)程中，多道分析器進(jìn)行著(zhù)模數轉換。多道分析器通過(guò)測量每一放大器的脈沖輸出高度，按積分方式對脈高分類(lèi)計數，完成模擬信號向數字信號的轉換，形成脈沖高度光譜。在多道分析器中，首先利用模數轉換器甄別脈沖。信號的高度（能量），并按其能量分類(lèi)以一定能量間隔作為X軸（道），統計在該能量間隔內的脈沖數，得到相應能量的技術(shù)，并作為Y軸。從而獲得我們熟知的每道能量間隔的光子計數。

  放大器和多道分析器均需要一定的時(shí)間進(jìn)行信息的處理和系統的重置與恢復，在此期間因為無(wú)法接受新的脈沖信號，所以會(huì )產(chǎn)生系統死時(shí)間。當計數率高的時(shí)候，兩個(gè)X射線(xiàn)光子在放大器輸出脈沖寬度內同時(shí)達到探測器的機率很高，這時(shí)會(huì )出現脈沖堆積，兩個(gè)脈沖不能被分辨，脈沖發(fā)生畸變。所以在多道分析器中，通常都會(huì )配置死時(shí)間校正和抗脈沖堆積電路來(lái)克服這兩個(gè)問(wèn)題。

  此外，在能量色散XRF光譜儀中采用充He氣條件時(shí)，應謹慎小心。因為He可能穿透過(guò)較薄的探測器Be窗，損害探測器的低溫真空系統。