新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡

1.成像功能

SU3500新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí)，SE圖像可達7nm,5KV電壓時(shí)，BSE圖像可達10nm。新開(kāi)發(fā)的自動(dòng)多級電子槍偏壓機構能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產(chǎn)品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。

通過(guò)SU3500的新開(kāi)發(fā)并優(yōu)化過(guò)的圖像處理方法，現在可以很容易地在快速掃描模式下觀(guān)察到低噪聲的圖像。高速自動(dòng)聚焦控制(AFC)和自動(dòng)亮度及對比度控制(ABCC)的增強，使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀(guān)察循環(huán)時(shí)間(TAT)

2.低真空功能操作的優(yōu)異性

新設計的真空程序使真空范圍可以達到6-650Pa,實(shí)時(shí)真空反饋允許在用戶(hù)特定的壓力設定下保持樣品室的快速的真空穩定性。在低真空模式下直接觀(guān)察更清晰。

SU3500新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡具有一個(gè)可變壓力模式，允許對處于自然狀態(tài)下的潮濕，油膩和非導電樣品進(jìn)行觀(guān)察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結果，所以不需要進(jìn)行傳統的樣品前處理，比如干燥和金屬鍍層。

新開(kāi)發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測器得以進(jìn)一步優(yōu)化，特別是在可變壓力模式下觀(guān)察超薄表面的微觀(guān)結構方面。通過(guò)同時(shí)觀(guān)察從標準BSE探測器得到的組成圖像，使得在多種應用下進(jìn)行的各種各樣的分析都成為可能。振木先生以銅礦物、樹(shù)脂填料、水虱等圖像為例真實(shí)的再現了SU3500的這項功能。

3.友好的用戶(hù)界面

SU3500的用戶(hù)界面使工作效率得到大的提高。它的顯示器像素為：大1,920×1,200像素 ，采用24.1英寸寬屏顯示器，提高了可視性和操作性，寬屏顯示器不僅使得單一模式下的顯示尺寸更大，而且還可為種用途實(shí)現多種顯示模式。用戶(hù)可以通過(guò)菜單操作選擇單幅圖像、雙幅圖像、四幅圖像以及全屏幕圖像顯示。

單幅圖像(800×600像素)的功能是便于找到視野及聚焦；雙幅圖像(800×600像素×2)可以同時(shí)顯示不同的探測器觀(guān)測到的實(shí)時(shí)SEM圖像。例如，此功能對于顯示超薄表面的微觀(guān)結構的UVD圖像和成分BSE圖像非常有效；四幅圖像(640×480像素×4)可以同時(shí)顯示不同信號的4種實(shí)時(shí)SEM圖像。例如，此功能對顯示SE圖像，BSE成分圖像，BSE形貌圖像和BSE 3D圖像非常有效；全屏幕圖像(1,280×960)大尺寸和高分辨率的實(shí)時(shí)圖像，適合多人同時(shí)觀(guān)察。信號混合功能是將同一視野內的不同信號合成到一幅畫(huà)面里的功能。例如：具有樣品表面微細結構信息的二次電子(SE)像和具有豐富的成分信息的背散射電子(BSE)像，通過(guò)合成可以在一幅畫(huà)里同時(shí)顯示樣品表面的微觀(guān)形貌和成分信息，更易于評價(jià)與解析。

顯示圖像的寬高有2種模式可以供選擇。用戶(hù)的界面可以根據用戶(hù)的應用目的選擇佳的操作條件。對于SEM的初學(xué)者來(lái)說(shuō)，可以在不具備任何技術(shù)知識的情況下很容易地操作。除了通過(guò)操作按鈕之外，諸如聚焦，放大倍率，掃描速度，亮度自動(dòng)調整以及圖像都可以通過(guò)面板完成操作。嵌入式日常維護視頻文件使您能正確有效的進(jìn)行日常維護。

4.多功能樣品室能容納各種樣品

優(yōu)中心5軸馬達驅動(dòng)樣品臺主要是：1.移動(dòng)X(jué)-Y，傾斜T，旋轉R，Z軸(高度)控制通過(guò)軌跡球(操縱桿為選配)，鼠標和輸入數值控制。2.X-Y軸移動(dòng)步幅控制通過(guò)點(diǎn)擊可以實(shí)現每一個(gè)距離的移動(dòng)。對于觀(guān)察等間隔的圖形有效。3.與Z軸聚焦點(diǎn)聯(lián)動(dòng)的高度軸自動(dòng)調整。即使當Z軸位置改變時(shí)，圖形也將隨時(shí)保持聚焦狀態(tài)。4.優(yōu)中心傾斜，旋轉。從現在的觀(guān)察位置傾斜，旋轉樣品時(shí)，圖形不會(huì )大幅地偏離視野。5.觀(guān)察位置的圖形顯示。此功能可把樣品和物鏡的相對位置在一個(gè)圖形上顯示出來(lái)。

圖像導航允許操作者使用一個(gè)低倍率的SEM圖像和光學(xué)范圍的圖像，或者數字圖像(可用的文件格式是BMP,JPEG和TIFF)瀏覽樣品尋找視野。

RISM：通過(guò)點(diǎn)擊其位置，可以把感興趣的部分移動(dòng)到屏幕中心位置。ZOOM：通過(guò)拖動(dòng)將感興趣的點(diǎn)框起來(lái)，然后被框起來(lái)的區域將自動(dòng)居中并擴大。

樣品臺移動(dòng)到某抓圖位置，即使選擇后拍攝的100張圖像中的任何一幅，都可以重現其樣品臺坐標。

樣品座/真空系統：支持多種觀(guān)察的樣品座：有適用于14和33(12.7毫米樣品托)個(gè)樣品的多用途樣品座。還有為特定目的而準備的樣品座。擇樣品托號碼，按移動(dòng)鍵即可將選好的位置移動(dòng)到畫(huà)面中心。

SU3500在真空系統的閥門(mén)上采用可靠性高的氣動(dòng)閥。該氣動(dòng)閥在遭遇意外停電時(shí)可瞬間關(guān)閉。因此可以防止主機和樣品室的真空劣化。一般帶有低真空功能的電鏡需要2臺機械泵，而SU3500則只要一臺即可。