高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

HITACHI SU-8010高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡包括SU-8010主機和E-1045噴鉑噴碳裝置，并配備有EDAX X射線(xiàn)能譜儀。加速電壓為15kV時(shí)，分辨率為1.0nm，加速電壓為1kV時(shí)，分辨率為1.3nm。

日立2005年在中國推出了S-4800型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，由于出色的應用性能、良好的穩定性和簡(jiǎn)易的維護，收到了各界用戶(hù)的*。

日立2011年新推出了它的后續機型----SU8010，它繼承了S-4800的優(yōu)點(diǎn)，性能有進(jìn)一步提高，1kv使用減速功能后，分辨率提升到1.3nm，相對于S-4800可以在更低的加速電壓下呈高分辨像，明顯提升了以往很難觀(guān)測的低原子序數樣品的觀(guān)測效果。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達1.3nm

2. 日立專(zhuān)li的ExB設計，不需噴鍍，可以直接觀(guān)測不導電樣品

3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像

4. 可以根據樣品類(lèi)型和觀(guān)測要求選擇打開(kāi)或關(guān)閉減速功能

5. 標配有冷指、電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能

6. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶(hù)自行完成

主要用途：

掃描電鏡（SEM）可觀(guān)察納米材料、材料斷口的分析、觀(guān)察原始表面、觀(guān)察區域細節、顯微結構分析等。

X射線(xiàn)能譜儀可進(jìn)行成分的常規微區分析：元素定量、定性成分分析，實(shí)時(shí)微區成分分析，快速的多元素面掃描和線(xiàn)掃描分布測量。分析范圍Be4~U92。

已廣泛應用于材料科學(xué)、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學(xué)材料、醫藥科學(xué)以及生物等領(lǐng)域。