一體式原子力顯微鏡

飛時(shí)曼在標準型一體式原子力顯微鏡FM-Nanoview 6600AFM的基礎上升級原子力顯微鏡FM-Nanoview 6800AFM，針對標記區域掃描提供準確的定位系統，增加磁力模塊，掃描范圍更廣，定位更精確。

一體式原子力顯微鏡主要功能特點(diǎn)

1、光機電一體化設計，外形結構簡(jiǎn)單；

2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；

3、精密激光及探針定位裝置，更換探針及調節光斑簡(jiǎn)單方便；

4、采用樣品趨近探針?lè )绞?，使針尖垂直于樣品掃描?/p>

5、馬達自動(dòng)脈沖控制驅動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現掃描區域精確定位；

6、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區域；

7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同精度和掃描范圍要求選擇；

8、采用10X復消色差物鏡CCD光學(xué)定位系統，實(shí)時(shí)觀(guān)測與定位探針樣品掃描區域；

9、模塊化的電子控制系統設計，便于電路的持續改進(jìn)與維護；

10、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統使用。

主要技術(shù)指標

1、工作模式：接觸模式、輕敲模式，可選配摩擦力、相位、磁力或靜電力

2、樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm

3、掃描范圍：XY向50um，Z向5um，可選配XY向20um，Z向2um

4、掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm

5、樣品移動(dòng)范圍：±10mm

6、馬達趨近脈沖寬度：10±2ms

7、圖像采樣點(diǎn)：256×256，512×512

8、光學(xué)放大倍數10X，光學(xué)分辨率1um

9、掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°

10、掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A

11、數據采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣

12、反饋方式：DSP數字反饋

13、反饋采樣速率：64.0KHz

14、計算機接口：USB2.0

15、運行環(huán)境：運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統

友好的軟件界面和操作功能

1. 多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；

2. 多種曲線(xiàn)力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；

3. 可進(jìn)行掃描區域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區域；

4. 可任意選擇樣品起始掃描角度；

5. 激光光斑檢測系統的實(shí)時(shí)調整功能；

6. 針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能；

7. 可任意定義掃描圖像的色板功能；

8. 支持樣品傾斜線(xiàn)平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；

9. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；