a) 分析速度高。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān),2~5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線(xiàn)熒光光譜跟樣品的化學(xué)結合狀態(tài)無(wú)關(guān),而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)關(guān)系(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長(cháng)變化等現象。特別是在超軟X射線(xiàn)范圍內,這種效應更好。波長(cháng)變化用于化學(xué)位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變,也不會(huì )出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量,結果重現性好。