掃描電子顯微鏡的工作原理簡(jiǎn)述

點(diǎn)擊次數：3487 更新時(shí)間：2021-03-19

掃描電子顯微鏡 (scanning electron microscope, SEM) 是一種用于高分辨率微區形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高, 成像直觀(guān)、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進(jìn)行旋轉和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類(lèi)豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結構、成分和結晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。目前, 掃描電子顯微鏡已被廣泛應用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀(guān)研究, 僅在地球科學(xué)方面就包括了結晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構造地質(zhì)等。

從電子槍陰極發(fā)出的直徑20µm～30µm的電子束，受到陰陽(yáng)極之間加速電壓的作用，射向鏡筒，經(jīng)過(guò)聚光鏡及物鏡的會(huì )聚作用，縮小成直徑約幾毫微米的電子探針。在物鏡上部的掃描線(xiàn)圈的作用下，電子探針在樣品表面作光柵狀掃描并且激發(fā)出多種電子信號。這些電子信號被相應的檢測器檢測，經(jīng)過(guò)放大、轉換，變成電壓信號，*后被送到顯像管的柵極上并且調制顯像管的亮度。顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描，并且這種掃描運動(dòng)與樣品表面的電子束的掃描運動(dòng)嚴格同步，這樣即獲得襯度與所接收信號強度相對應的掃描電子像，這種圖象反映了樣品表面的形貌特征。第二節掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)大多數生物樣品都含有水分，而且比較柔軟，因此，在進(jìn)行掃描電鏡觀(guān)察前，要對樣品作相應的處理。掃描電鏡樣品制備的主要要**：盡可能使樣品的表面結構保存好，沒(méi)有變形和污染，樣品干燥并且有良好導電性能。

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